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產(chǎn)品分類(lèi)導航
2025制藥工業(yè)深圳展
薄膜沉積冷水機/水冷機/直冷機chiller
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更新時(shí)間:2025-06-12

價(jià)格:
品牌: 冠亞恒溫
型號: FLTZ-002
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產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品關(guān)鍵詞: 半導體冷水機,chiller,精密溫控冷水機,高低溫測試機,熱流儀
是否為生產(chǎn)商:
最低訂購量: 1
供貨能力: 100
付款方式: 依據合同為準
交貨周期: 45個(gè)工作日
主要銷(xiāo)售市場(chǎng): 中國,北美洲,中/南美洲,西歐,亞洲,非洲
產(chǎn)品描述:

單通道冷水機在工業(yè)溫控領(lǐng)域應用廣泛,其性能直接關(guān)乎半導體、電子制造等高精度場(chǎng)景的工藝穩定性。

一、單通道冷水機的核心工作原理

單通道冷水機通過(guò)制冷劑在閉式系統中的狀態(tài)變化實(shí)現熱量轉移,主要由壓縮機、冷凝器、膨脹閥和蒸發(fā)器四大部件構成循環(huán)系統。

1、壓縮機的提升作用

壓縮機是循環(huán)的動(dòng)力源,其作用是將低溫低壓的制冷劑氣體壓縮為高溫高壓氣體,提升制冷劑的品位。單級壓縮機通過(guò)活塞或渦旋結構對制冷劑做功,而復疊式壓縮機則通過(guò)多個(gè)單級壓縮機的組合,實(shí)現更低溫度的制冷。

2、冷凝器的熱釋放過(guò)程

冷凝器負責將壓縮機排出的高溫高壓制冷劑氣體的熱量釋放到外界環(huán)境中,使其冷凝為液體。  

3、膨脹閥的節流降壓功能

膨脹閥是系統中的節流元件,高溫高壓的制冷劑液體流經(jīng)膨脹閥時(shí),由于通道截面積突然縮小,壓力急劇下降,溫度也隨之降低,變?yōu)榈蜏氐蛪旱臍庖簝上嗷旌衔?。單通道冷水機多采用電子膨脹閥,可根據傳感器反饋的溫度、壓力信號實(shí)時(shí)調節開(kāi)度,確保進(jìn)入蒸發(fā)器的制冷劑流量與負荷相匹配。

4、蒸發(fā)器的吸熱制冷機制

蒸發(fā)器是實(shí)現制冷的關(guān)鍵部件,低溫低壓的制冷劑在蒸發(fā)器中吸收載冷劑的熱量,發(fā)生汽化,從而降低載冷劑的溫度。蒸發(fā)器的結構形式多樣,沉浸式蒸發(fā)器使制冷劑直接與載冷劑接觸換熱,板式蒸發(fā)器則通過(guò)金屬板壁傳遞熱量。

二、制冷性能的關(guān)鍵影響因素

1、運行工況的直接作用

①蒸發(fā)溫度:蒸發(fā)溫度是制冷劑在蒸發(fā)器中汽化時(shí)的溫度,直接決定了冷水機的制冷能力。當蒸發(fā)溫度降低時(shí),制冷劑與載冷劑之間的溫差減小,吸熱的能力下降,制冷量隨之降低。  

②冷凝溫度:冷凝溫度是制冷劑在冷凝器中液化時(shí)的溫度,受冷卻介質(zhì)的溫度和流量影響。冷凝溫度升高時(shí),制冷劑與冷卻介質(zhì)的溫差增加,散熱難度增加,壓縮機排氣壓力升高,輸入功率上升。

2、系統控制策略的優(yōu)化作用

采用PLC可編程控制器,結合多種控制算法實(shí)現準確控溫。  

①PID控制算法:通過(guò)比例、積分、微分環(huán)節的協(xié)同作用,對溫度偏差進(jìn)行實(shí)時(shí)校正,使控溫精度高。PID算法根據載冷劑出口溫度與設定值的偏差,調節電子膨脹閥的開(kāi)度和變頻泵的轉速,確保溫度穩定。  

②前饋控制與自適應調節:針對負荷突變等情況,前饋控制可提前調整控制參數,減少溫度波動(dòng)。

單通道冷水機的熱力學(xué)模型構建需綜合考慮部件特性與循環(huán)參數,通過(guò)準確建??山沂鞠到y能效與工況、制冷劑、控制策略之間的內在聯(lián)系。未來(lái),隨著(zhù)半導體等行業(yè)對溫控精度與低溫性能要求的提升,進(jìn)一步提升設備的可靠性,為制造領(lǐng)域提供更穩定的溫控解決方案。

原理:
半導體溫控設備Chiller(高精度冷熱循環(huán)器),適用于集成電路、半導體顯示等行業(yè),溫控設備可在工藝制程中精準控制反應腔室溫度,是一種用于半導體制造過(guò)程中對設備或工藝進(jìn)行冷卻的裝置,其工作原理是利用制冷循環(huán)和熱交換原理,通過(guò)控制循環(huán)液的溫度、流量和壓力,帶走半導體工藝設備產(chǎn)生的熱量,從而實(shí)現精確的溫度控制,確保半導體制造過(guò)程的穩定性和產(chǎn)品質(zhì)量。
產(chǎn)品優(yōu)勢:
半導體Chiller高精度冷熱循環(huán)器按照不同產(chǎn)品類(lèi)型,包括單通道和雙通道,主要有FLTZ變頻單通道系列(-100℃~+90℃)、FLTZ變頻多通道系列(-45℃~+90℃)、無(wú)壓縮機系列ETCU換熱控溫單元(+5℃-+90℃)
主要特征:

多通道獨?控溫,可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能?、導熱介質(zhì)流量等,根據所需的溫度范圍選擇采?蒸汽壓縮制冷,或者采?ETCU?壓縮機換熱系統,系統可通?膨脹罐、冷凝器、冷卻?系統等,可以有效減少設備尺?,減少操作步驟。

無(wú)錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
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