一、設備簡(jiǎn)介
PTLQ系列氣體制冷機用于氣體的降溫與冷卻，也可選擇進(jìn)行升溫與恒溫控制氣體通常為干燥的壓縮空氣或氮氣、氬氣等惰性氣體。進(jìn)氣溫度可以是常溫的，也可以是高溫的，經(jīng)過(guò)氣體制冷機降至目標低溫。針對于晶圓測試載冷臺的應用來(lái)說(shuō)，氣體制冷機相比較于傳統的液冷有諸多優(yōu)勢,如使用方便、安全衛生、成本低、無(wú)異味等。
典型應用領(lǐng)域:
晶圓測試載冷臺提供低溫氣體
芯片低溫測試
激光設備局部區域降溫
液晶觸摸屏低溫冷凍脫膠
材料性能測試
熱沉實(shí)驗溫度控制
結晶系統控溫
二、 產(chǎn)品特點(diǎn)
1、-135°C~+225°C,可以滿(mǎn)足不同溫度的需求,可非標定制;
2、可選配精確控溫形式，控溫精度最高可達±0.1C;
3、采用高效換熱器,降溫速度快,常溫至-80℃最快只需5分鐘;
4、可選配冷量回收裝置,提升能效,避免低溫冷凝水;
5、允許非標控制程序定制;
6、可選配進(jìn)氣流量自動(dòng)控制與檢測;
7、運行狀態(tài)實(shí)時(shí)顯示，故障信息自動(dòng)診斷，多項報警保護功能;
8、自適應PID控制算法,無(wú)需改變參數，即可實(shí)現溫度控制;
9、完善的安全保護措施,設置有多種安全保護機制以確保系統的安全運行;
10、質(zhì)量保障。
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